الخلاصة

دٌرس السيليكون المسامي من خلال الخصائص الفيزيائية والكيميائية والتركيبية
تمت دراسة و مقارنة نتائج الحوامض المستخدمة (حامض الهيدروفلوريك + الايثانول , حامض النتريك + حامض الهيدروفلوريك , حامض النتريك + الملح NaCl) من خلال دراسة الخصائص المورفولوجيا والتركيبية لطبقات السيليكون المسامي باستعمال المجهر الالكتروني الماسح ( SEM ) و حيود الاشعة السينية ( XRD) و الطريقة الوزنية .
من خلال صور المجهر الالكتروني لعينات السيليكون المسامي فقد تبين ان هناك اشكال مختلفة للسيليكون المسامي اذ يختلف الشكل باختلاف زمن التفاعل و تأثير الحامض المستخدم.
بينت النتائج ان قطر المسام وسمك طبقة السيليكون المسامي تزداد باستعمال حامض النتريك مع HF اكثر من HF مع الايثانول.
وان المسامية المقاسة باستعمال الطرائق الوزنية تختلف باختلاف الحوامض المستخدمة لإنتاج السيليكون المسامي وقد ظهرت بقيم عالية في حامض النتريك اكثر من الايثانول مع HF
درست الخصائص البصرية والكهربائية لعينات الحوامض و تبين ان هذه الخصائص تتأثر بسمك الطبقة فبزيادة سمك الطبقة تقل النفاذية النسبية ومعامل الانكسار وبالعكس
السعة الكهربائية تتأثر بالمسامية وسمك الطبقة اذا تقل كلما كانت الطبقة المسامية اكبر بسبب كمية الشحنات والايونات الموجودة اما عندما تكون الطبقة المسامية صغيرة فتقل بسبب وجود الهواء
السعة الكهربائية للسيليكون النانوي المعالج في محلول HF مع الايثانول يكون اعلى بكثير من HNO3 مع HF
اختلاف قياس الابعاد النانوية للمسام خلال الاوقات المختلفة لحامض الايثانول + HF منتظم اكثر وصفاتها النانوية تكون اوضح لان كلما كان المسام اصغر كلما كان الصفات النانوية اوضح
كل الحالات لها تطبيق معين فيتم استخدام الحامض حسب التطبيق المطلوب.
بينت النتائج ان السيليكون يتفاعل مع حامض النتريك لإنتاج الاكسيد الذي يذوب في حامض الهيدروفلوريك و هكذا فان التفاعل مع حامض النيتريك بوجود HF اعطى افضل واجود سيليكون مسامي.
بشكل عام ، فإن خصائص إنتاج السيليكون المسامي من تفاعل السيليكون مع الأحماض يؤدي إلى تحسين هذه الخصائص المسامية في ضوء أي تطبيق للسيليكون البلوري النانوي